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文章出處：冠石新聞 網(wǎng)站編輯： 冠石凈化 閱讀量： 發(fā)表時(shí)間：2021-04-25 10:13:03
根據(jù)潔凈室車(chē)間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類(lèi)型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。
1、形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車(chē)間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈車(chē)間則存在運(yùn)行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。
2、形式的設(shè)計(jì)可以滿(mǎn)足集成電路制造無(wú)塵車(chē)間大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。
3、FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為主要的凈化設(shè)計(jì)方案。
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