潔凈車間裝修工程對(duì)生產(chǎn)車間的影響,近年來(lái)許多測(cè)試和實(shí)踐表明,帶入潔凈車間或無(wú)塵車間產(chǎn)生的污染物還有室外空氣中的N0x、S0x、 Na\Cl-;超細(xì)玻璃纖維制品中的硼和DOP粒子; 操作人員自身產(chǎn)生的NH「、Na*等;潔凈車間構(gòu)成材 料散發(fā)的各種有機(jī)物、金屬離子;生產(chǎn)過(guò)程使用溶 劑、洗滌液散發(fā)的各種化學(xué)污染物等。因此,化學(xué) 分子態(tài)污染物(Airboml Molecular Contaminants.簡(jiǎn) 稱AMC)的防治已提到日程,可以預(yù)見(jiàn),隨著超大 規(guī)模集成電路技術(shù)的不斷發(fā)展.去除分子態(tài)污染 物、化學(xué)污染物的空氣凈化裝置,技術(shù)措施以及相 應(yīng)的檢測(cè)手段將會(huì)廣泛應(yīng)用和不斷完善。
電子產(chǎn)品與潔凈車間技術(shù)在電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中要求具有潔凈生產(chǎn)環(huán)境者甚多,
如電真空器件——彩色顯像管、顯示器件,電子材料生產(chǎn),光纖及光通信產(chǎn)品,精密電子儀器、電子計(jì)算機(jī)裝配,光盤(pán)、磁記錄設(shè)備以及半導(dǎo)體器件和集成電路等。尤其是集成電路生產(chǎn)的高速發(fā)展,它的特性尺寸的日漸 微細(xì)化、集成度越來(lái)越大,當(dāng)前0.09am的超大規(guī) 模集成電路已投入生產(chǎn),要求控制潔凈室的空氣潔 凈度為IS01級(jí)、控制微粒粒徑0.03am;因此近年來(lái) 隨著超大規(guī)模集成電路發(fā)展的需要,潔凈技術(shù)發(fā)展也日新月異,可以說(shuō)電子產(chǎn)品的不斷升級(jí)帶來(lái)了潔 凈技術(shù)的不斷發(fā)展,從空氣潔凈度等級(jí)的3個(gè)等級(jí)、 控制粒徑0.5am發(fā)展到現(xiàn)在的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644- 1中的空氣潔凈度基本等級(jí)9級(jí)、控制粒徑分為 0.1|±m(xù)、0.2|JLm、0.3|JLrn、0.5|xm 等多種粒徑要求。
電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的控制要求,不僅對(duì)潔凈房間的空氣潔凈程度有嚴(yán)格要求,而且還對(duì)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程直接接觸的各種高純介質(zhì)——高純 水、高純氣體、高純化學(xué)品等的純度雜質(zhì)含量等要 求控制得十分嚴(yán)格;某些電子產(chǎn)品對(duì)振動(dòng)、靜電、 電磁干擾、電力供應(yīng)也有較為嚴(yán)格要求等