導(dǎo)體生產(chǎn)凈化車(chē)間的應(yīng)用

　　近幾年來(lái),由于半導(dǎo)體芯片在電腦,通信等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,半導(dǎo)體制造業(yè)也在全球得到了飛速發(fā)展。在半導(dǎo)體制造業(yè)中,由于其昂貴設(shè)備的敏感性和制造過(guò)程的復(fù)雜性,工廠的布局變得不可以輕易更改,初始的不良布局結(jié)果會(huì)導(dǎo)致龐大的物料搬運(yùn)成本、無(wú)效的生產(chǎn)以及重新布局時(shí)所需要的大量成本。因此,凈化車(chē)間的設(shè)施規(guī)劃已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造商們關(guān)心的問(wèn)題,在建廠初期他們就不得不對(duì)工廠進(jìn)行謹(jǐn)慎詳細(xì)的規(guī)劃。這樣,工廠投產(chǎn)以后整體生產(chǎn)系統(tǒng)才能發(fā)揮大的生產(chǎn)效能。

　　半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求很?chē)?yán)，個(gè)別區(qū)域的潔凈度要求甚至達(dá)到十級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體器件涉及數(shù)百個(gè)制造工序，生產(chǎn)技術(shù)非常具有特殊性，其特殊性導(dǎo)致它對(duì)生產(chǎn)環(huán)境，如溫度、濕度，潔凈度都有嚴(yán)格要求，這些環(huán)境參數(shù)關(guān)系到晶圓生產(chǎn)的合格率和使用壽命。半導(dǎo)體器件，尤其是高敏感度高密度的集成電路，是易損體質(zhì)，非常容易受到污染。半導(dǎo)體器件尤其是小尺寸晶片，體積非常小，其微小的表面沉積層非常受塵埃的困擾。

　　空氣中一直充滿(mǎn)著塵埃，只是小到肉眼不可見(jiàn)，但它們?cè)揪痛嬖?。稍微了解半?dǎo)體行業(yè)知識(shí)的人都知道，在半導(dǎo)體制程中，空間單位開(kāi)始已經(jīng)以微米計(jì)算，這些塵埃對(duì)于每個(gè)晶體管的體積就屬于較大顆粒，考慮一下，如果這些肉眼不可見(jiàn)的微粒黏附在半導(dǎo)體的線(xiàn)路上，可能會(huì)影響其精密的導(dǎo)線(xiàn)布局，輕者導(dǎo)致半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性不良，嚴(yán)重的造成短路或斷路，甚至導(dǎo)致整批產(chǎn)品報(bào)廢。因此要保證半導(dǎo)體生產(chǎn)的良品率，必須要有一個(gè)的半導(dǎo)體凈化車(chē)間。

　　各種文獻(xiàn)對(duì)設(shè)施規(guī)劃定義的表述不盡相同,但在制造業(yè)中都是把設(shè)施規(guī)劃定義為對(duì)一個(gè)生產(chǎn)系統(tǒng)進(jìn)行全面的、系統(tǒng)的規(guī)劃和安排,這種規(guī)劃和安排是有目的的,這就是要確定經(jīng)濟(jì)合理的投入,使設(shè)施得到化的配置,以支持整個(gè)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)有效的運(yùn)行,獲得期望的產(chǎn)出。從凈化工程的角度考察,設(shè)施規(guī)劃的范圍被界定為廠址選擇和設(shè)施設(shè)計(jì)兩個(gè)組成部分。在制造業(yè)中,設(shè)施設(shè)計(jì)又包含了凈化車(chē)間設(shè)備布局設(shè)計(jì)和物料搬運(yùn)系統(tǒng)設(shè)計(jì)兩個(gè)互相關(guān)聯(lián)的內(nèi)容。設(shè)備布局設(shè)計(jì)是對(duì)機(jī)器、設(shè)備、運(yùn)輸通道、場(chǎng)地,按照物流、人流、信息流的合理需要,做出有機(jī)組合和合理安排,物料搬運(yùn)系統(tǒng)設(shè)計(jì)則是對(duì)物料搬運(yùn)的路線(xiàn)、運(yùn)量、搬運(yùn)方法和設(shè)備、儲(chǔ)存場(chǎng)地等做出合理安排。