無(wú)塵車間即凈化車間,亦稱為無(wú)塵室或潔凈室。是指將定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某需求范圍內(nèi),而所給予設(shè)計(jì)之房間。無(wú)塵車間并不是等越越好,相反,等數(shù)字越小,凈化要求越高。 無(wú)塵車間可以分為以下幾個(gè)別:
?。?)、1級(jí):級(jí)的無(wú)塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè),對(duì)集成電路的精確要求為亞微米。
(2)、10級(jí): 十級(jí)的無(wú)塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
(3)、100級(jí):百級(jí)無(wú)塵車間并非無(wú)菌室,百級(jí)無(wú)塵車間對(duì)“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要嚴(yán)格,100級(jí)無(wú)塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等,這一無(wú)塵車間大量應(yīng)用于植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。
?。?)、1000級(jí):千級(jí)的無(wú)塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測(cè)試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
?。?)、10000級(jí):萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
(6)、100000級(jí):十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無(wú)塵車間。
?。?)、300000級(jí)別:三十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間級(jí)別較低,用于普通潔凈區(qū),如級(jí)別不高的走道。