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文章出處:冠石新聞 網(wǎng)站編輯: 冠石凈化 閱讀量: 發(fā)表時(shí)間:2021-06-17 10:14:19
電子工業(yè)潔凈室的特點(diǎn):
電子工業(yè)潔凈室的特點(diǎn)一是大,二是多變。幾千平方米、上萬平方米的面積并不少見。電子工業(yè)的技術(shù)更新快,工藝變了,平面布局就要跟著變,因此平面上不宜有固定的分隔,特別是很小的分隔。具體說,有以下一些之處應(yīng)加注意。
?。?)平面由工藝決定,電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應(yīng)適應(yīng)電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。
(2)主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系。
?。?)大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層這種“夾心”式多層構(gòu)造。
?。?)應(yīng)考慮大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的安裝、維修要求,設(shè)置必要的運(yùn)輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。
?。?)電子工業(yè)潔凈室按二級耐火等級設(shè)計(jì)。
?。?)特種氣體的儲存和分配間應(yīng)有耐火隔墻與潔凈室(區(qū))分開,該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開的,氣瓶與周圍構(gòu)筑物或圍欄之間的距離應(yīng)大于3M,儲存區(qū)設(shè)置的雨篷應(yīng)不低于3.5M。
?。?)電子工業(yè)潔凈室的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。
?。?)電子工業(yè)潔凈室允許設(shè)空氣吹淋室,這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應(yīng)與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按大班人數(shù)為30人一間設(shè)計(jì),當(dāng)工作人員超過5人時(shí),應(yīng)設(shè)旁門,當(dāng)人數(shù)太多或?yàn)榱丝s短通過時(shí)間,也可設(shè)遂道式吹淋室。
?。?)對于別潔凈室,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具。
?。?0)電子工業(yè)潔凈室常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境,以便抑制靜電的產(chǎn)生,將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除。
?。?1)電子工業(yè)潔凈室友有對防微振的特殊要求,在廠地環(huán)境上應(yīng)避開振動源。
?。?2)電子工業(yè)潔凈室除有一般給排水要求外,對超大規(guī)格集成電路的用水也有標(biāo)準(zhǔn)。
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